Стъпка на решетката | 20 мкм |
| ||||||||||||||||||||||||||||||||
Термично разширение | 10,6 x 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Резолюция | 0,5-1-5μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Повторяемост | ±1 стъпка | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Максимална скорост м/мин | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Тип изход | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Максимално ускорение | 20 м/С² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Защита | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Захранване | 60mA макс. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Фазово изместване | 90°±5° електрически | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Работна температура | 0°-- 50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Температура на съхранение | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
Влажност | 100% не е кондензирано |